由于治具检具在使用过程中经常受到工件的摩擦与碰撞，而其本身又必须具备非常高的尺寸精确性和恒定性，因此，要求有以下性能。

高硬度和高耐磨性：以此保证在长期使用中不致被很快磨损，而失去其精度。

高的尺寸稳定性：以保证在使用和存放过程中保持其形状和尺寸的恒定。

足够的韧性：以保证在使用时不致因偶然因素——碰撞而损坏。

在特殊环境下具有耐腐蚀性。

调质处理：其目的是获得回火索氏体组织，以减少淬火变形和提高机械加工的光洁度。

淬火和低温回火：检具钢为过共析钢，通常采用不完全淬火加低温回火处理，在保证硬度的前提下，尽量降低淬火温度并进行预热，以减少加热和冷却过程中的温差及淬火应力。检具的淬火方式为油冷（20～30℃），不宜采用分级淬火和等温淬火，只有在特殊情况下才予以考虑，一般采用低温回火，回火温度为150～160℃，回火时间≥4～5h。

冷处理：高精度检具在淬火后必须进行冷处理，以减少残余奥氏体量，从而增加尺寸稳定性。冷处理温度一般为—70～—80℃，并在淬火冷却到室温后立即进行，以免残余奥氏体发生陈化稳定。

时效处理：为了进一步提高尺寸稳定性，经淬火、回火后，在120～150℃进行24～36h的时效处理，这样可消除残余内应力，大大增加尺寸稳定性而不降低其硬度。

治具检具钢的热处理除了要进行过共析钢的正常热处理，即不完全淬火+低温回火之外，还需要有三个附加的热处理工序，即淬火之前进行调质处理、正常淬火处理之间的冷处理、正常热处理之后的时效处理。